在euv光刻机方面，荷兰asml（阿斯麦）公司垄断了目前的euv光刻机，去年出货26台，创造了新纪录。据报道，asml公司正在研发新一代euv光刻机，预计在2022年开始出货。
根据asml之前的报告，去年他们出货了26台euv光刻机，预计2020年交付35台euv光刻机，2021年则会达到45台到50台的交付量，是2019年的两倍左右。
目前asml出货的光刻机主要是nxe：3400b及改进型的nxe：3400c，两者基本结构相同，但nxe：3400c采用模块化设计，维护更加便捷，平均维修时间将从48小时缩短到8－10小时，支持7nm、5nm。
此外，nxe：3400c的产能也从之前的125wph（每小时处理晶圆数）提升到了175wph。
不论nxe：3400b还是nxe：3400c，目前的euv光刻机还是第一代，主要特点是物镜系统的na（数值孔径）为0．33。
asml最近纰漏他们还在研发新一代euv光刻机exe：5000系列，na指标达到了0．55，主要合作伙伴是卡尔蔡司、imec比利时微电子中心。
与之前的光刻机相比，新一代光刻机意味着分辨率提升了70％左右，可以进一步提升光刻机的精度，毕竟asml之前的目标是瞄准了2nm甚至极限的1nm工艺的。
不过新一代euv光刻机还有点早，至少到2022年才能出货，大规模出货要到2024年甚至2025年，届时台积电、三星等公司确实要考虑3nm以下的制程工艺了。
作者：宪瑞

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